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真空油:油擴散泵的常見故障及原因

 

【惠豐潤滑油提供:油擴散泵的常見故障及原因】

由于真空設備長期運轉及其它一些因素的影響,擴散泵的性能可能會逐漸變壞,現將使用中經常出現的一些問題如述如下;

1) 極限真空變低
    原因: a.系統中有滲漏;
           b.系統太臟;
           c.泵油污染;
           d.加熱功率不夠;
           e.冷卻水不足;
           f.過量或過冷的冷卻水;
           g.前級壓力高;檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象;
           h.快冷管內有水。

2) 抽氣較慢
    原因: a.加熱功率低;
           b.油量不足;
           c.噴帽安裝位置不當或受損。

3) 進口壓力波動
    原因: a.加熱器輸入功率不當;
           b.油脫氣;
           c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

4) 工作腔污染大
    原因: a.前級壓力高;
           b.在高于10-1Pa壓力下長期工作;
           c.系統操作有誤。

5) 返油率過大:
    原因: a. 頂噴嘴帽松動,間隙過大;
           b. 加熱功率不對

 

文章來源:http://www.dlfyfp.buzz/te_service_industry/2012-11-12/1573.chtml
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